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堀场实时膜厚检测仪 Halogen
概要实时的干涉测量设备,提供蚀刻/镀膜制程中高精度的膜厚及蚀刻沟深度检测。单色光打在样品表面,由于膜厚和高度变化导致不同的光路长度时,使用干涉测量法。通过循环,系统能在监控区使用实时监测的方法计算
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堀场实时膜厚检测仪 DIGILEM-CPM-Xe
概要实时的干涉测量设备,提供蚀刻/镀膜制程中高精度的膜厚及蚀刻沟深度检测。单色光打在样品表面,由于膜厚和高度变化导致不同的光路长度时,使用干涉测量法。通过循环,系统能在监控区使用实时监测的方法计算
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堀场实时膜厚检测仪 LEM-CT-670-G50
概要实时的干涉测量设备,提供蚀刻/镀膜制程中高精度的膜厚及蚀刻沟深度检测。单色光打在样品表面,由于膜厚和高度变化导致不同的光路长度时,使用干涉测量法。通过循环,系统能在监控区使用实时监测的方法计算
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显微分光膜厚仪
OPTM 系列显微分光膜厚仪头部集成了薄膜厚度测量所需功能通过显微光谱法测量高精度绝对反射率(多层膜厚度,光学常数)1点1秒高速测量显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)区域传感器的安全机制易于
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膜厚测量仪FE-3
膜厚量测仪FE-3的特点使用分光干涉法原理配置高精度FFT膜厚分析引擎(专利 第4834847号)可通过光纤灵活构筑测量系统可嵌入各种制造设备可实时测量膜厚支持远程遥控,多点测量采用长使用寿命,高
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OPTM 半导体膜厚测试仪
特长 Features· 膜厚测量中必要的功能集中于头部· 通过显微分光高精度测量绝对反射率(多层膜厚、光学常数)· 1点只需不到1秒的高速tact· 实现了显微下广测量波长范围的光学系(紫外~近
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膜厚测量仪FE-300
膜厚量测仪FE-300的特点测试范围涵盖薄膜到厚膜基于绝对反射率光谱分析膜厚小型・低价,精度高无复杂设定,操作简单,短时间内即可上手外观新颖,操作性提高非线性*小二乘法,实现光学常数解析(n:折射率
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F50 光学膜厚测量仪
需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。可测样品膜层基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括:选择Filmetrics的优势• 桌面式薄膜厚度测量的全球
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反射式膜厚测量仪FE-3000
反射式膜厚量测仪的产品特点完美对应紫外到近红外(190~1600nm)广波长范围。利用高分辨率传感器,可对应厚膜以及超厚膜样品类型:0.8~1mm利用非线性*小二乘法薄膜解析软件,可解析多层薄膜的膜
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国产膜厚检测台阶仪
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